amp;- целое число, коэффициент кратности участка 71 удельное сопротивление напыляемой пленки на квадрат; 5 - толщина пленки; Устройство содеряшт генератор 1 сиг- вапов, для выдачи тестового сигнала. Датчик 2, преобразующий тестовый сигнал, блок 3 выработки опорного сигнала для установки опорного сигнала, соответствун щего заданной толщине контролируемой пле ки, первую схему 4 сравнения.для сравнени сигнала с датчика, несущего информацию о текущей толщине пленки с опорным сигна ЛОМ и исполнительный блок 5 для включ&ния и выключения процесса напыления пле ки, причем выход генератора 1 подключен к входам датчика 2 и блока 3 а два входа первой схемы 4 сравнения подключены к выходам соответственно датчика 2 и блока 3. Устройство содержит также схему 6 запуска,, для выработки сигнала включения устройства; генератор 7 тактовых импульсо вырабатывающий тактовые импульсы для иэ мереная времени напыления,- триггер 8, пре назначенный для коммутаций5,при этом выхо схемы 6 подключен к входам генератора 1, генератора 7, IK входу триггера 8 и о ному из входов исполнительного блока 5J первую и вторую cxeiv bi И 9 и 10, преднаэ иаченные для коммутации и управляемые соответственно первым и втфым выходами триггера вторые входы схем И 9 и 10 под ключены к выходу 1 нератора 7} первый и, торой счетчики 11 и 12, причем первый четчик 11 предназначен для измерения вреени напыления в области точного контроля Ai I а второй счетчик 12 для измерения ремени напыления, равного по величине Л и обладающего возможность обнуления (фиг, 2), входы первого и второго счетчиков 11 и 12 подключены соответственно к вььходам первой и второй схем И 9 и 10; вторую схему 13 сравнения,предназначенную для сравнения кодов первого и второго счетчиков 11 и 12, два входа которой подключены к выходам разрядов первого и второго счетчиков Ни 12; схему 14 задержки, задерживающую сигнал с выхода второй схемы 13, предупреждающую.сбой второго счетчика 12 и включенную между выходом второй схемы 13 и входом обнуления вт-орого счетчика 12; и счетчик 15 циклов, имеющий переменный коэф фициент пересчета Ы предназначен вый для подсчета N отрезков времени ЛЬ (фиг, 2), После Н переключений счетчик 15 выдает, сигнал об окончании процесса напыления на второй вход блока 5, Контроль с помощью известных блоков путем непосредственного измерения сопроти леиия напыляемой пленки осуществляется до толщины Л5 (фиг, 2), причем эта величина должна быть кратна конечной толщине напыляемой пленки, т,е. 5ц Ы А S (фиг. 2). Схема 6 запуска выдает сигнал для вклю чения генератора 1 и генератора на опрокнн дывание триггера 8 в исходное положение и включения исполнительного блока 5, Генератор сигналов подает тестовый сигнал на дйтчик 2 и блок 3, уставки которого выдают опорный сигнал, соответствующий конечному ct противлению пленки толщиной А S, Датчик 2 преобразует тестовый сигнал в сигнал, пропорциональный сопротивлению контролируемой пленки. Сигйалы с выхода блока 3 и датчика 2 подаются на два входа первой схемы 4 сравнения. За это время сигнал с выхода.первого плеча триггера 8, установленного в исходное положение, открыл первую схему И 9 и импульсы с генератора 7 подаются на первый счетчик 11, а сипнал с выхода второго плеча триггера 8 закрьш вторую схему И 10. В тот момент, когда сигналы с блока 3 и датчика 2 сра&няются, т.е. толщина контролируемой пленгки достигнет значения и. в, первая 4 сравнения выдает сигнал на вход первого плеча триггера 8 и тем самым триггер перекинется в другое устойчивое положение. При этом положении триггера 8 сиг нал с его первого плеча запирает первую сх&му И 9 и открывает вторую схему И 10. В первом счетчике 11 записывается число импульсов, пропорциональное времени напьшеПИЯ пленки до толшины AS, причем точность контроля этой толщины достаточно высока. При дальнейшем увеличении толшины точность контроля резко падает, поэтому далее устройство переходит в режим экстраполяции, так, как считается, что плотность паров в процессе напыления постоянна и скорость напыления также постоянна. При открытии второй схемы И 10 импульсы с генератора 7 подаются на второй Q счетчик 12. В тот момент, когда числа импульсов на счетчиках 11 и 12 cpaaHsnoi ся, вторая схема сравнения выдает импульс, который записывается в счетчике 15 циклов и поступает на линию 14, которая за- j держивает этот импульс на некоторое время, чтобы избежать сбоя, и с выхода схемы 14 импульс обнулит второй счетчик 12, Пооле чего во второй счетчик 12 вновь записываются импульсы с генератора тактовых им 20 пульсов 7. Такой процесс ликлически повт ряется Ц раз, где М | а Sj конечная толщина пленки, которая и является коэффициентом пересчета счетчика 15, В счетчике циклов предусмотрено изменение 25 коэффициента пересчета для различных толщин контролируемой пленки 5 Пооле записи N -го импульса в счетчик 15 На его выходе поязитсч импульс, котфый подается на исполнительный блок 5 для30 прекращения процесса напыления,. Таким образом, предлагаемое устройство позволяет контролировать пленки широкого диапазона толщин с достаточно высокой точностью. Если S 0,05 мкм, то предлагав- 35 мое устройство позр.оляет контролировать пленки толщиной до 10 мкм, Предлагаемое устройство позволяет сократить время напьшения пленки, снизить расход материалов, а также получать пленки 40 с заданной электропроводн остью или заданн ной толишной. Так как точность контроля при этом будет высокой, то появляе1х;я nixtможность получать пленочные резисторы и конденсаторы более высокой точности, что увеличивает процент выхода годных изделий. Формула изобретения Устройство для контроля толщины проводящих пленок, содержащее генератор сиг налов, датчик, блок выработки опорного сигнала, первую схему сравнения и исполнительный блок, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено последовательно соединенщ 1ми схемой запуска, генератором тактовых им пульсов, первой схемой И, первым счетчиком, второй схемой сравнения, счетчиком циклов, выход которого подключен к испс№нительному блоку, последовательно соедине ными второй схемой И, вторым счетчиком, вход которых подключен к генератору тактовых импульсов, а выход - к второй схеме сравнения, триггером, первый вход которого подключен к первой схеме сравнения, первый выход - второму входу первой схемы И, а второй выход - ко второму входу второй схемы И, схемой айяеря ки, вход которой подключен к второй схеме сравнения, выход - к входу второхо счетчика а выход схемы запуска соединен со входами генератора сигналов, вторым входом триггера и вторым входом Исполнительного блока. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство № 322729, кл. Q01 R 27/00, 1970. 2.Авторское свидетельство № 359504, кл. Q01 В 7/О6, 1972,"/>