В основе диффузии лежит тепловое (или иное, в некотором смысле хаотичное) движение частиц (атомов, молекул, ионов, электронов, позитронов, протонов, нейтронов или других).
В основе диффузии частиц лежит движение диффундирующих частиц.
В основе диффузии квазичастиц (например, дырок) лежит движение частиц (например, электронов).
В основе диффузии вакансий в кристаллах лежит движение частиц, образующих кристаллическую решётку.
Механизмы диффузии для твёрдых тел, жидкостей, газов, границ раздела зёрен или фаз несколько различны.
Диффузия (лат. diffusio — распространение, растекание, рассеивание, взаимодействие) — процесс взаимного проникновения молекул или атомов одного вещества между молекулами или атомами другого, приводящий к самопроизвольному выравниванию их концентраций по всему занимаемому объёму.