Да как и обычно: поднять температуру. Также приносят плоды правильная предварительная подготовка поверхностей, если речь идет о гетеродиффузии двух материалов, увеличение давления, пропускание электрического тока, обработка нейтронным потоком... В общем, главные задачи: 1) расшевелить атомы или молекулы, чтобы они двигались быстрее и чаще перескакивали с места на место 2) при гетеродиффузии улучшить насколько возможно соприкосновение материалов вдоль контактной поверхности.