Тут два вопроса, поэтому два этапа поиска, первый - скопировать в поиск Яндекса "список уездов и волостей в России XVII века", второй - "как узнать какое население проживало по волостям в 17 веке, численность, национальность".
Если по первому вопросу ответ можно легко найти, то ответы на второй вопрос весьма вариативны.
Кто ищет тот всегда найдёт, если это ему надо, конечно.