1) Дважды кликаете в ячейку;
2) Выделяете текст, который надо сделать надстрочным;
3) Кликаете на нем правой кнопкой мыши и выбираете "Формат ячеек";
4) Ставите галочку "Надстрочный" и жмете "ОК"