Химическая реакция вряд ли будет, так как карбид кремния вещество довольно инертное. Скорее может подложка полупроводника треснуть - то есть реакция будет физическая. Проводимость, конечно, также зависит от температуры - поэтому работа полупроводника изменится.
А если учитывать, что внешняя температура среды будет 500 градусов Цельсия и аммиак будет медленно испаряться?