Какой минимальный размер отверстия можно получить при выполнении отверстия лазером в полимерном материале толщиной около 100-500 мкм?

Александр, минимальный диаметр отверстия, который проделывается лазероv в ПКМ зависит от диаметра пучка лазера. Если у Вас полимерный материал без армирования, а только чистый полимер, то тогда диаметр пучка - это минимальный размер. Если всё пойдёт плохо, то тогда у Вас будет что-то типа воронки, где диаметр пуска - это минимум, а 2-3 диаметра - максимум воронки на входе. Всё это обеспечивается тем, что Полимер выжигается лазером, путём подвода больших температур локально и испарении, растекании и пр. у полимера.

Однако подбором режима резания лазером у Вас получится делать отверстия в диаметр пучка.

Диаметр пуска лазера можно уже подбирать исходя из Ваших нужд. Тут уже вопрос денег и достижений лазерной техники.