Можно, без проблем.
1) На бетонную плиту, если она ровная (если нет, то выровнять) выкладываешь в разбежку плиты пеноплэкс, плиты укладываются свободно (их фиксация обеспечивается с помощью пригруза от защитного слоя).
2) Укладываешь слой пароизоляции (полиэтилен), внахлёст.
3) Монтируешь защитный слой, распределяющий нагрузки. Если финишное покрытие наносится мокрым способом (допустим, керамическая плитка на цементном растворе), то ему предшествует материал, замешанный на воде - цементно-песчаная стяжка. Если покрытие кладется сухим способом (паркет, ламинат, линолеум), то лучше использовать сборную сухую стяжку из двух слоев гипсоволокнистых листов или как в Вашем случае, - из фанеры (можно 10 - 12 мм). Фанера кладётся в два слоя, каждый слой вразбежку, слои скрепляются между собой саморезами.
4) После этого устраиваешь финишное покрытие (линолеум, паркет и т.п.).
Для справки: для устройства полов есть Пеноплэкс, отличающийся повышенной прочностью на сжатие - не менее 30 тонн на м2, он без проблем выдерживает статические и динамические нагрузки в течение всего срока эксплуатации - более 50 лет.
Спасибо, Ваш комментарий очень помог!
Несмотря на приличную твердость пеноплекса устраивать пол поверх него не стоит. Всетаки пеноплекс пористый материал и под большими нагрузками продавливается. Под весок мебели, крупной бытовой техники могут произойти деформации.
Не вводите людей в заблуждение.